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10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。其空气净化要求仅次于1级,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求高。在实际施工中,净化项目通常分为分工和分时。 这种安排有利于各种工作类型的管理。 但是,易于进行多尘和无尘的交叉操作,应尽可能避免这种结构布置。 如果不可避免,应该防止灰尘和有效清洁。净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。
地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型pf发泡塑胶板。送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。选择与安装ffu时应注意的事项:风机过滤器单元简称为“ffu”是一个自带送风机(无壳风机)的过滤器送风口,它与其龙骨系统、加压风机、冷却盘管、新风系统以及灯具共同组成了ffu系统。因此在选择风机时好选择、压出式、直驱后径向叶片风机,这样可以降低整体噪音。净化车间龙骨架的选用:由于ffu的风机过滤机组是直接安装在---骨架间,为了使过滤器既要更换简便快捷,又要使ffu的风机运行保持平衡,减少安装失衡的机率。
目前净化工程级别较高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。这样会导致空调整体运行费用,而那些较高洁净级别的房间的洁净度效果却未必能满足需求。而且集中送风系统只要空调机出现故障,电子洁净车间,就会造成这台空调机所涉及的全部洁净室停止运行。净化工程是一个应用行业非赏广泛的基础性配套产业,且前在电子信息、半导体、光电子、精密制造、卫生、生物工程、航天航空、汽车喷涂等众多行业均有应用,并根据行业的精密与无尘要求,等级差别也较大。
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